文章摘要:提出了一种外差式利特罗结构的高光学细分读头设计方案，该读头设计实现了8倍光学细分，从而提高了测量系统的分辨力，实现精密测量。基于光栅衍射原理和多普勒频移分析了该读头的测量原理，构建光栅干涉仪读头的测量模型。使用ZEMAX仿真软件搭建读头光路并进行仿真分析，获得相干相位图样，从而验证了该读头结构的可行性。通过MATLAB与ZEMAX进行动态数据交换，实现该读头测量的信号对比度仿真，测量信号的对比度为0.426。

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